விரிவான கட்டுப்பாட்டு பட்டியல்: புதிய டச்சு சிப் விதிமுறைகள் எந்த DUV மாடல்களைப் பாதிக்கின்றன?

Tibco News, ஜூன் 30, டச்சு அரசாங்கம் செமிகண்டக்டர் உபகரணங்களின் ஏற்றுமதி கட்டுப்பாடு குறித்த சமீபத்திய விதிமுறைகளை வெளியிட்டது, சில ஊடகங்கள் இதை விளக்கியது, சீனாவிற்கு எதிரான புகைப்படக் கலையின் கட்டுப்பாடு மீண்டும் அனைத்து DUV களுக்கும் அதிகரித்தது.உண்மையில், இந்த புதிய ஏற்றுமதி கட்டுப்பாட்டு விதிமுறைகள், அதிநவீன ALD அணு படிவு கருவிகள், எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி கருவிகள், பிளாஸ்மா படிவு கருவிகள் மற்றும் இம்மர்ஷன் லித்தோகிராஃபி அமைப்புகள், அத்துடன் தொழில்நுட்பம், பயன்படுத்தப்படும் மென்பொருள் உள்ளிட்ட மேம்பட்ட 45nm மற்றும் அதற்கும் குறைவான சிப் உற்பத்தி தொழில்நுட்பங்களை இலக்காகக் கொண்டுள்ளன. அத்தகைய மேம்பட்ட உபகரணங்களைப் பயன்படுத்தவும் மேம்படுத்தவும்.

டிப்கோவிற்கு அளித்த அறிக்கையில், டச்சு அரசாங்கத்தின் புதிய ஏற்றுமதி கட்டுப்பாட்டு விதிமுறைகள் TWINSCAN NXT:2000i மற்றும் அடுத்தடுத்து வரும் இம்மர்ஷன் லித்தோகிராஃபி சிஸ்டம்கள் உட்பட சமீபத்திய DUV மாடல்களில் சிலவற்றை மட்டுமே உள்ளடக்கியதாக ASML வலியுறுத்தியுள்ளது.EUV லித்தோகிராஃபி முன்பு தடைசெய்யப்பட்டது, மற்ற அமைப்புகளின் ஏற்றுமதி டச்சு அரசாங்கத்தால் கட்டுப்படுத்தப்படவில்லை.ASML அதிகாரப்பூர்வ இணையதள தகவலின்படி, DUV இம்மர்ஷன் லித்தோகிராஃபி சிஸ்டம், இதில் அடங்கும்: TWINSCAN NXT:2050i, NXT:2050i, NXT:1980Di மூன்று லித்தோகிராஃபி இயந்திரம், இவை 38nm ~ 45nm செயல்முறை செதில் செயலாக்கத்தை மேற்கொள்ள முடியும்.

 

கூடுதலாக, TWINSCAN XT:400L, XT:1460K, NXT:870 போன்ற 65nm~220nm செயல்முறை போன்ற 45nm க்கு மேல் செதில் செயலாக்க திறன் கொண்ட உலர் DUV லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்கள் டச்சு தடைகள் பட்டியலில் சேர்க்கப்படவில்லை.

டிப்கோ மொழிபெயர்த்துள்ள டச்சு கட்டுப்பாட்டு பட்டியல் பின்வருமாறு:

நெதர்லாந்தின் வெளிநாட்டு வர்த்தகம் மற்றும் மேம்பாட்டு ஒத்துழைப்பு அமைச்சரால் வெளியிடப்பட்ட ஒழுங்குமுறை MinBuza.2023.15246-27, 2021/821 (மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி தொடர்பான) இணைப்பு I இல் முன்னர் குறிப்பிடப்படாத குறைக்கடத்திகளுக்கான மேம்பட்ட உற்பத்தி உபகரணங்களை ஏற்றுமதி செய்வதற்கான உரிமத் தேவைகளை வழங்குகிறது. உற்பத்தி உபகரணங்கள்)

பிரிவு 2: நெதர்லாந்தில் இருந்து அமைச்சரின் அனுமதியின்றி மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களை ஏற்றுமதி செய்வதை இந்த ஒழுங்குமுறை தடை செய்கிறது.

கட்டுரை 3:

1. கட்டுரை 2 இல் குறிப்பிடப்பட்டுள்ள அனுமதிக்கான விண்ணப்பம் ஏற்றுமதியாளரால் செய்யப்பட்டு வழக்கறிஞரிடம் சமர்ப்பிக்கப்படும்.

2. எந்தவொரு சந்தர்ப்பத்திலும், விண்ணப்பத்தில் பின்வருவன அடங்கும்:

a) ஏற்றுமதியாளரின் பெயர் மற்றும் முகவரி;

b) மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களைப் பெறுபவர் மற்றும் இறுதிப் பயனரின் பெயர் மற்றும் முகவரி;

c）மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களைப் பெறுபவர் மற்றும் இறுதிப் பயனரின் பெயர் மற்றும் முகவரி.

3, எவ்வாறாயினும், ஏற்றுமதி குறித்த ஒப்பந்தத்தையும், இறுதிப் பயன்பாடு குறித்த அறிக்கையையும் வழங்குமாறு ஏற்றுமதியாளரைக் கோருவதற்கு வழக்குரைஞருக்கு உரிமை உண்டு.

கட்டுரை 4:

கட்டுரை 2 இல் விவரிக்கப்பட்டுள்ள உரிமம், நிபந்தனைகள் மற்றும் விதிகளுக்கு உட்பட்டதாக இருக்கலாம்.

கட்டுரை 2 இல் விவரிக்கப்பட்டுள்ள உரிமத்தை வழங்குவது தகுதிகளுடன் இருக்கலாம்.

கட்டுரை V:

கட்டுரை II இல் குறிப்பிடப்பட்டுள்ள உரிமங்கள் பின்வரும் சந்தர்ப்பங்களில் ரத்து செய்யப்படலாம்:

a) உரிமம் தவறான அல்லது முழுமையற்ற தகவலின் அடிப்படையில் வழங்கப்பட்டது;

b) உரிமத்தின் விதிமுறைகள், நிபந்தனைகள் மற்றும் கட்டுப்பாடுகள் பின்பற்றப்படவில்லை;

c)தேசிய வெளியுறவு மற்றும் பாதுகாப்புக் கொள்கையின் காரணங்களுக்காக.